インライン/オフライン複屈折マッピング計測装置

KAMAKIRI X-Stage

抜き取り検査や開発品評価に適した
卓上型システム

KAMAKIRI X-stageは、ラインスキャンタイプでありながら、卓上型にしたコンパクトな検査システムです。インラインシステムと基本アルゴリズムを統一しているため、インラインシステム導入前の入門機としてお使いいただけます。

フィルムサイズが大きい場合、ステージサイズをカスタマイズすることにより 1回5分程度で、1.5mの幅広フィルムのTD方向分布を評価することが可能です。
(1.5m以上のフィルムの場合は別途こ相談ください)

スペック
型名
  • KAMAKIRI X-Stage
主な導入目的
  • 抜取り検査
    開発品評価
システム特徴
  • 1.微小な歪評価
    2.STSと高い相関
    3.STSへ改造可能
測定項目
  • 位相差主軸方位
位相差計測レンジ
  • 0~260nm
位相差繰返し精度
  • <士1nm ※当社規定の測定条件下で基準位相子を用いて評価した性能となります
主軸方位計測レンジ
  • 0~180°
主軸方位繰り返し積度
  • <土1° ※位相差の値が10nm以上時の繰り返し精度となります。
標準測定中心波長
  • 543nm ※中心波長の変更をご希望の際には、別途ご相談ください。
測定点数
  • 424
ソフトウェア[日本語/英語対応]
  • KAMAKIRIインライン基本ソフト
カスタマイズ実績
  • 大型X-stageの製作実繰あり(1500mmフィルム幅をスキャン1回で計測可能)

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