インライン/オフライン複屈折マッピング計測装置

KAMAKIRI 複屈折計測モジュール

お客様の設備に取付け
お客様独自の検査用最小構成システム

KAMAKIRI複屈折計測モジュールは、ラインヘの設置がスペース的に難しい状況において有効な製品です。弊社から位置調整機構や、お客様の環境に適した光学的な補正データ(光学キャリブレーションデータ)を提供し、安定した測定をサポートします。また複数台設置の場合は、測定開始信号を同期することで、全台一斉に測定開始することができます。
操作、解析はKAMAKIRI MEM-LSと共通のソフトを使用するため、ライブ計測、後解析の機能が充実しています。

スペック
型名
  • KAMAKIRI複屈折計測モジュール
主な導入目的
  • 部分検査
    試作ライン評価
システム特徴
  • 1.既存設備に取付
    2.ライブモニタリング
    3.STSへ改造可能
測定項目
  • 位相差主軸方位
位相差計測レンジ
  • 0~260nm
位相差繰返し精度
  • <士1nm ※当社規定の測定条件下で基準位相子を用いて評価した性能となります
主軸方位計測レンジ
  • 0~180°
主軸方位繰り返し積度
  • <土1° ※位相差の値が10nm以上時の繰り返し精度となります。
標準測定中心波長
  • 543nm ※中心波長の変更をご希望の際には、別途ご相談ください。
測定点数
  • 424
ラインスキャン時最大測定幅
  • 約600mm ※カメラ1台あたりの測定幅となります。
対応搬送速度
  • ~30m/min ※より高速な搬送速度への対応をご希望の際には、別途こ相談ください。
ソフトウェア[日本語/英語対応]
  • KAMAKIRIインライン基本ソフト
カスタマイズ実績
  • 記録保存動作繰返しによる連続記録

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