2次元複屈折評価システム

WPA-300シリーズ

3波長の測定データの比較演算で、大きな位相差の面分布測定も可能にしました

異なる波長で測定したデータ

合成された大きな位相差測定結果

WPA-300シリーズはWPA-200シリーズが持つ大きな位相差の測定性能はそのままに、偏光イメージセンサーの解像度を5倍にまで高めることで、より鮮明な測定が可能です。細かい小さな位相差の変化をより鮮明にデータ化することができます。

WPA-300スペック
  • 測定
出力項目
  • 位相差(nm),位相軸方位(°) ※データ処理オプションにより応力値換算可(Mpa)
測定範囲
  • 0~3500nm (水晶にて評価した場合)
繰返し再現性
  • 位相差:1σ < 0.1 nm
    軸方位:1σ < 0.1°(位相差 > 10nm)
  • センサユニット
複屈折画素数
  • 約57万画素(データ点数:848 × 680)
測定波長
  • 523nm, 543nm, 575nm
  • 筐体
寸法
(W x D x H)
  • 270 × 380 × 最大624mm
測定視野サイズ
  • 約36 × 45mm ~ 約100 × 133mm (標準レンズ)
    約12 × 15mm ~ 約32 × 40mm (ズームレンズ ※オプション)
本体重量
  • 約15kg
  • その他
インターフェース
  • GigE (カメラ信号)
電源/消費電流
  • AC100~240V (50/60Hz) / ~5.0A
ソフトウェア
  • WPA-View
付属品
  • デスクトップパソコン、標準レンズ、取扱説明書
  • オプション
ズームレンズ
  • 対応
データ処理機能
  • 対応
広視野補正機能
  • 対応
レンズ解析機能
  • 対応
リアルタイム解析機能
  • 対応
外部制御機能
  • 対応
波長分散(CD)モード
  • 対応
WPA高位相差測定機能
  • 要相談
レンズ測定専用ステージ
  • 対応
PA・WPA用遮光カバー
  • 対応
光弾性係数計測オプション
  • 対応
WPA-300-L スペック
  • 測定
出力項目
  • 位相差(nm),位相軸方位(°) ※データ処理オプションにより応力値換算可能 (Mpa)
測定範囲
  • 0~3500nm (水晶にて評価した場合)
繰返し再現性
  • 位相差:1σ < 0.1 nm
    軸方位:1σ < 0.1°(位相差 > 10nm)
  • センサユニット
複屈折画素数
  • 約57万画素(データ点数:848 × 680)
測定波長
  • 523nm, 543nm, 575nm
  • 筐体
寸法
(W x D x H)
  • 430 × 508 × 最大1135mm
測定視野サイズ
  • 約36 × 45mm ~ 約255 × 320mm (標準レンズ)
    約12 × 15mm ~ 約32 × 40mm (ズームレンズ ※オプション)
本体重量
  • 約25kg
  • その他
インターフェース
  • GigE (カメラ信号)
電源/消費電流
  • AC100~240V (50/60Hz) / ~5.0A
ソフトウェア
  • WPA-View
付属品
  • デスクトップパソコン、標準レンズ、取扱説明書
  • オプション
ズームレンズ
  • 対応
データ処理機能
  • 対応
広視野補正機能
  • 対応
レンズ解析機能
  • 対応
リアルタイム解析機能
  • 対応
外部制御機能
  • 対応
波長分散(CD)モード
  • 対応
WPA高位相差測定機能
  • 要相談
レンズ測定専用ステージ
  • 要相談
PA・WPA用遮光カバー
  • 対応
光弾性係数計測オプション
  • 対応

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