高速エリプソメータ膜厚・屈折率 2次元分布測定計測装置 - 株式会社フォトニックラティス｜フォトニック結晶と応用製品の製造・販売

ME-210/ME-210-T

SE-101

半導体向け有機薄膜の膜厚ムラを高速、高感度に測定

光学シミュレーション技術

高速膜厚分布測定