膜厚・屈折率分布測定エリプソメータ SEシリーズ
SE-101
ポイント測定で高い測定精度・高速性を実現するコンパクトタイプのエリプソメータです。
ヘッドユニットは分離可能で、製造ラインや実験設備への組み込みが可能です。
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| 繰返し再現性 |
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| 測定速度 |
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| 光源 |
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| 測定スポット |
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| 入射角度 |
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| 寸法 (W x D x H) |
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| ステージサイズ |
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| 寸法 (W x D x H) |
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| 重量 |
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| インターフェース |
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| インターフェース |
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| 電源 |
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| ソフトウェア |
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| 付属品 |
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カテゴリ
- #膜厚・屈折率分布定エリプソメータ