2022.09.20 半導体向け有機薄膜の膜厚ムラを高速、高感度に測定 2022.06.29 Compact ellipsometer employing a static polarimeter module with arrayed polarizer and wave-plate elements T. Sato, T. Araki, et al./ APPLIED OPTICS, Vol. 46, No. 22, at Aug 1 2007. 2022.06.24 光学シミュレーション技術 2022.06.24 フォトニック結晶技術
