膜厚・屈折率分布測定エリプソメータMEシリーズ用データビューアソフトME-View Ver. 2.1.3.7 32bit対応版をリリースしました。

主なリリース内容
– 測定レシピファイルのポータビリティ向上(光学常数へのローカルライブラリの影響を排除)
– 操作(測定)のロギング機能の導入
– バグ修正、安定性向上、ユーザインタフェースの改善