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WPA-KAMAKIRI

WPAシリーズは、異なる3つの波長を選択、そして各波長での位相差を比較・演算することにより、3000nm程度の位相差を測定することが可能になりました。また、1万nm程度の超高位相差を測定するニーズに対応できるよう、高位相差オプションを用意しています。

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ME-210 / ME-310

1nm以下の膜厚変化も高速・高密度に面測定できるφ8“ウェハ(オプションで⌀300mmまで対応可)まで全面測定可能な、高速マッピングエリプソメータです。

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トゥルーゼロオーダー波長板/UV偏光子

フォトニック結晶の波長板は入射角依存性が小さく、信頼性の高い完全な0次波長板です。例えば、水晶で紫外域波長266nm用の0次1/2波長板を作ると厚さは11μm程度にもなってしまいますが、フォトニック結晶は石英板上に成膜されているので取扱いが容易です。

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WPA-micro

複屈折/位相差の分布を3波長で測定することにより位相差の測定レンジを0~3500nmに拡大したシリーズです。
顕微鏡視野で複屈折を測定できるタイプです。
付属の顕微鏡はオリンパス製またはニコン製を選択可能です。

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相关解决方案

複屈折・応力ひずみ計測

従来の複屈折計測を点計測から面計測に拡張しています。高速度高精度の複屈折計測によって光学材料の品質評価や機能向上に貢献します。

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次世代光通信

次世代光通信において偏波制御はますます重要性が高まっています。当社独自のフォトニック結晶における適用事例に加え、将来期待される機能についても紹介しています。

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超精密微細レーザ加工

次世代のEVや半導体装置に向けて微細加工技術の重要性が高まっています。当社は独自のビーム整形、偏光制御、および高速度温度イメージングによってその高度化を支援します。

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全長全幅フィルム計測

業界初となる、光学フィルムの複屈折分布の全面計測を提供することで、ディスプレイ画面全体での映像品質保証につながるフィルム品質向上に貢献します。

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