薄膜厚度 / 折射率椭偏测量 SE系列
SE-101
这是一款紧凑型椭偏仪，可在点测量中实现高测量精度和高速测量。
测量头单元可分离，能够集成到生产线和实验室设备中。
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| 重复精度 |
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| 光源 |
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| 光斑尺寸 |
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| 入射角 |
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| 外形尺寸 （宽 × 深 × 高） |
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| 样品台尺寸 |
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| 外形尺寸 （宽 × 深 × 高） |
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| 重量 |
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| 接口 |
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| 电源 |
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| 软件 |
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| 附件 |
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