ME/SEシリーズ膜厚測定

透明基板対応 (オプション)

偏光センサー内蔵カメラ

拡大・高解像測定

SMIFポッド対応全自動化

測定時間

マスクブランクスのレジスト膜

スピンコートしたレジスト膜

スピンコートしたレジスト膜（3D）

阵容

ME-210 / ME-310

1nm以下の膜厚変化も高速・高密度に面測定できるφ8“ウェハ（オプションで⌀300mmまで対応可）まで全面測定可能な、高速マッピングエリプソメータです。

SE-101

ポイント測定で高い測定精度・高速性を実現するコンパクトタイプのエリプソメータです。
ヘッドユニットは分離可能で、製造ラインや実験設備への組み込みが可能です。