インライン／オフライン複屈折マッピング計測装置

KAMAKIRI MEM-LS

1台で複数ラインの立上げ調整補助
注目した幅手位置で部分検査

スペック
型名	KAMAKIRI MEM-LS
主な導入目的	部分検査試作ライン評価
システム特徴	1.シンプルな構成 2.ライブモニタリング 3.STSへ改造可能
測定項目	位相差主軸方位
位相差計測レンジ	0~260nm
位相差繰返し精度	＜士1nm　　※当社規定の測定条件下で基準位相子を用いて評価した性能となります
主軸方位計測レンジ	0~180°
主軸方位繰り返し積度	＜土1°　※位相差の値が10nm以上時の繰り返し精度となります。
標準測定中心波長	543nm　※中心波長の変更をご希望の際には、別途ご相談ください。
測定点数	424
ラインスキャン時最大測定福	約600mm　※カメラ1台あたりの測定幅となります。
対応搬送速度	~30m/min　※より高速な搬送速度への対応をご希望の際には、別途こ相談ください。
ソフトウェア[日本語／英語対応］	KAMAKIRIインライン基本ソフト
カスタマイズ実績	カメラ1台で2mフィルム幅向けのトラバースシステムを提供ミリオーダーの複屈折ムラ検出モード