内部歪み計測機

1.　最小測定単位は約0.15μm角サイズ(対物100倍)。
2.　1000nm超の大きな位相差分布を高速定量評価。
3.　反射で定量評価可能。
4.　様々なグラフ表示・解析機能。
5.　text、csvフォーマットでのデータ出力。