自己クローニング法の技術紹介ページ

 

2. 得られる機能

自己クローニングフォトニック結晶は、 基板パターンの2次元周期構造+膜厚方向の周期方向で合わせて3次元の周期構造体を作製することができます。
しかし、私たちは3次元周期構造よりも、2次元構造で得られる異方性(方向によって光学特性が異なること)に、より大きな魅力を見出しました。
 2次元の自己クローニングフォトニック結晶は、異方性光学多層膜として機能し、 偏光子や波長板などの馴染みのある機能を光学多層膜により実現することができるのです。

自己クローニングフォトニック結晶の異方性

設計の自由度は、材料の選定・基板の凹凸パターン・多層膜の厚さの3つであり、 これらの選定により偏光子や波長板として機能する素子を作り分けることが出来ます。
 また、例えば偏光子の消光比を高めたい場合には、積層数の増加により実現できます。 波長板の場合には、膜厚を微調整することでリタデーションの正確なあわせ込みも可能です。
 基板材料には、スパッタリング成膜中の200度程度の温度上昇に耐えられれば採用可能です。 通常は石英、ガラス、Si基板から選択します。また、成膜材料はスパッタリング成膜が可能な材料であれば自由に選ぶことが出来ます。

自己クローニングフォトニック結晶の特徴

このような材料で構成されたフォトニック結晶に、更に最表層を平坦にする技術を開発したことで、 通常の多層膜と全く同じ取り扱いを可能にしました。

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