マッピングエリプソメータ

付属ソフトにより、ME101の操作と取得データの解析・保存、保存データの再読み込みなど、一連の操作を簡単にを行うことができます。

測定した膜厚や屈折率の分布データを様々に表示・解析可能です。例えば、膜厚を濃淡やカラーに反映させた２Dマップや、任意の角度で視点を設定できる 3Dマップ表示、ワイヤー表示などが可能です。

ME101のマッピング機能を活かして、一様な光学モデルで全面を測定後に、任意測定点を異なる光学モデルに変えて詳細に定点測定することができます。

また、これらの測定データは、txt形式やcsv形式で出力・保存することができますので、 Excelなどのソフトウェア用データとして用いることができます。また、保存データを測定時と異なる光学モデルをもちいて、再計算させることも出来ます。