マッピングエリプソメータ

1.　超高速に極薄膜の膜厚/屈折率分布を測定。
2.　測定結果の3Dグラフ表示機能。
3.　シンプルなインターフェイスの簡単操作。
4.　text、csvフォーマットでのデータ出力。
5.　面分布データから特定の箇所を再測定可能。