エリプソメータ
応用例
高速マッピングエリプソメータME101
PCA方式のエリプソメータをスキャニングステージと組み合わせた高速マッピングエリプソメータです。
測定対象が静止していなくても測定可能である特長を生かして、毎分1000ポイント以上という
高速測定を実現しました。
エリプソメーターならではの高精度測定を、高速に面測定できる本システムは、ウエハー全面の極薄薄膜の膜厚分布測定や、
半導体の欠陥検査の高速化などに御活用いただけます。
( ME101紹介ページへ ）
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