エリプソメータ
仕 様
| 装置仕様 | |
| 測定方式 | フォトニック結晶アレイ並列処理方式 |
| 測定再現性 | 膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001※ |
| 装置構成 | |
| 光源 | 半導体レーザ(typ. 635nm) |
| 測定スポット | 約 1mm角 |
| 入射角度 | 60,70,75[deg] 手動交換 |
| ステージサイズ | Φ75mm (最大サンプルサイズ：Φ100mm) |
| PC 接続 I/F | USB 2.0 |
| 寸法・重量 | 光学系本体：290 W×210 D×110 H [mm],
約3kg |
| 製品内容 | PCAエリプソメータ一式 ノートパソコン 標準サンプル ソフトウェア(インストールCD) 取扱説明書 |
※動作波長帯域、ソフトウェア改良等の御希望がございましたら、御相談下さい。
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