エリプソメータ

動作原理

PCAエリプソメータには、偏光子アレイ・波長板アレイ・CCDが右図の様に配置されています。
　偏光子アレイは、透過軸方位の少しづつ異なる縦長の偏光子が横に並ぶ構成です。 波長板アレイは逆に、横長の波長板が縦に並ぶ構成です。
　この配置により、従来波長板や偏光子を回転させることで得ていた全情報が、CCD面上の配列として取得されるのです。

取得された像の例を右下図に示します。このような２Dの明暗パターンを フーリエ解析することにより、偏波解析が行われ、膜厚と屈折率が算出されます。

光源・フォトニック結晶・CCDのみが基本構成で、回転駆動部の無いこの方式の特徴は、


　  1.究極の小型化が可能である、
　  2.素子の軸方位が正確で高精度なこと、
　  3.高速測定が可能であること、
　  4.駆動部レスで使用可能環境が広いこと、
　    　    　    　  　  　が挙げられます。
　フォトニック結晶アレイ並列処理方式は、エリプソメータの限界を超える、優れた計測方式です。