エリプソメータ

製品概要

エリプソメータとは、光学薄膜の膜厚と屈折率とを同時に測定することができる測定装置です。 その原理は、サンプルからの反射光が、膜厚と屈折率に応じて偏光状態を変化する現象を利用しています。 従ってエリプソメータの基本構成は、光源と受光素子に加えて偏光状態を計測するための仕組みが加わります。
　この手法では、段差計などでは計測不可能な極めて薄い膜の計測が可能なため、 近年その重要性や利用分野が広がりつつあります。

従来のエリプソメータでは、装置の大きさが課題の一つでした。 それは、偏光状態を計測する仕組みとして、右図に示すように、偏光子や波長板などの光学素子を回転させる駆動機構が不可欠だったからです。
　この問題は、複数あるエリプソメータの方式に共通する課題でした。

回転駆動機構は欠かせない、そんな既成概念を、PCAエリプソメータは打ち破りました。
　フォトニック結晶アレイとCCDの組み合わせにより、 エリプソメータから完全に駆動機構を排除することに成功したのです。
　小型軽量で高精度、しかも使用可能環境が飛躍的に広がりました。PCAエリプソメータは、エリプソメータの概念を変えます。