エリプソメータ

1.　小型でポータブル(約3kg)。
2.　日常的な膜厚/屈折率管理に好適な
　単一波長エリプソメータ。
3.　調整が容易で、誰にでも簡単に操作できます。
4.　高速測定(0.1秒以下）。
5.　高速サンプル移動ステージとの組み合わせにより、
　毎分1000点の超高速測定が可能(オプション)。